发明名称
摘要
申请公布号 JP4139907(B2) 申请公布日期 2008.08.27
申请号 JP19970539919 申请日期 1997.04.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/22;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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