高精密精馏提纯三氯氢硅的分离装置和方法

摘要

本发明涉及一种采用加压连续高精密精馏提纯三氯氢硅的分离装置及其方法，包括低沸物分离塔、高沸物分离塔及氢气或氩气加压系统，其中进料经原料预热换热器后进入低沸物分离塔的中部，低沸物分离塔塔顶分离低沸点产品，塔底三氯氢硅初馏品出料管线连接进入高沸物分离塔中部。塔顶得到高纯三氯氢硅产品。经该工艺纯化后的三氯氢硅产品纯度可达99.999％以上，其中硼、磷、铁等杂质的含量均小于10ppb，甲基氯硅烷等低沸物和高沸物的混合物杂质的含量小于5.0ppm，过程的回收率大于98.0％，同时整个发明的加塔连续高精密热耦合精馏分离工艺流程简单、过程能耗较小。

主权项

1.一种高精密精馏提纯三氯氢硅的分离装置，包括低沸物分离塔、高沸物分离塔和氢气加压系统，其特征在于进料口设置在低沸物分离塔中部，低沸物分离塔塔顶分离低沸物至低沸物杂质储罐，塔底三氯氢硅初沸物分离塔塔底采出高沸馏品经出料管线连接进入高沸物分离塔中部，高沸物分离塔塔顶馏份的管线连接到入三氯氢硅产品储罐，高物杂质的管线与高沸物杂质储罐相连接。