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发明名称 Method of controlling an ion beam
摘要
申请公布号 EP1699067(B1) 申请公布日期 2008.08.27
申请号 EP20060100810 申请日期 2002.03.26
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 GIERAK, JACQUES;LAGADEC, YVON;SEPTIER, ALBERT
分类号 H01J27/22;H01J37/30;H01J27/26;H01J27/02;H01J37/08;H01J37/305;H01J37/317 主分类号 H01J27/22
代理机构 代理人
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