| 发明名称 | 显影喷嘴结构及喷涂显影液的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种显影喷嘴结构及喷涂显影液的方法，该显影喷嘴结构包括一喷嘴腔体，具有一第一室、位于其下的一第二室、一注入管供应显影液注入所述第二室内，以及与所述第二室连通且位于所述第二室下方的一喷涂管；以及一闸门装置，设置于所述第一室与所述第二室之间，在所述闸门装置开启时，显影液中的气泡进入并集中于所述第一室，在所述闸门装置关闭时，所述第一室的气泡与第二室的显影液隔离，且第二室的显影液经由所述喷涂管向外喷涂。藉此，可大幅减少气泡随着显影液被带出至面板，故能提升工艺效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101251721A | 申请公布日期 | 2008.08.27 |
| 申请号 | CN200810091401.7 | 申请日期 | 2008.04.14 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 何松勋;张耿志 |
| 分类号 | G03F7/30(2006.01);H01L21/00(2006.01);H01L21/84(2006.01) | 主分类号 | G03F7/30(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 任默闻 |
| 主权项 | 1. 一种显影喷嘴结构，其特征在于，所述显影喷嘴结构包括：一喷嘴腔体，具有一第一室、位于其下的一第二室、一注入管供应显影液注入所述第二室内，以及与所述第二室连通且位于所述第二室下方的一喷涂管；以及一闸门装置，设置于所述第一室与所述第二室之间，在所述闸门装置开启时，显影液中的气泡进入并集中于所述第一室，在所述闸门装置关闭时，所述第一室的气泡与第二室的显影液隔离，且第二室的显影液经由所述喷涂管向外喷涂。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||