| 发明名称 | 适用于低压常规电源加热启动的多晶硅氢还原炉 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种适用于低压常规电源启动的多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壳，炉壳安装在底盘上；底盘上布有进、出气装置，底盘设有加热电极，电极上一一对应安装有硅芯棒，硅芯棒和电极为各18对，即各36个，且在底盘上沿三个同心圆周均布设置，从内圆周向外圆周分别设置为3对、5对、10对；所述内圆周的3对硅芯棒为低电阻率硅芯棒，其余两圆周上为常规电阻率硅芯棒。本实用新型不仅可以实现大直径、多对棒生产，提高了多晶硅产量，同时采用低压电源启动，有效节约了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN201105993Y | 申请公布日期 | 2008.08.27 |
| 申请号 | CN200720081581.1 | 申请日期 | 2007.10.23 |
| 申请人 | 四川永祥多晶硅有限公司 | 发明人 | 刘汉元;戴自忠 |
| 分类号 | C01B33/023(2006.01);C01B33/03(2006.01);C30B29/06(2006.01);F27B5/04(2006.01) | 主分类号 | C01B33/023(2006.01) |
| 代理机构 | 成都天嘉专利事务所 | 代理人 | 方强 |
| 主权项 | 1、适用于低压常规电源启动的多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壳(1、2)，炉壳安装在底盘(6)上；底盘(6)上布有进、出气装置(11)，底盘(6)设有加热电极(7)，电极(7)上一一对应安装有硅芯棒(3)，其特征在于：硅芯棒(3)和电极(7)为各18对，即各36个，且在底盘(6)上沿三个同心圆周均布设置，从内圆周向外圆周分别设置为3对、5对、10对；所述内圆周的3对硅芯棒(3)为低电阻率硅芯棒，其余两圆周上为常规电阻率硅芯棒。 | ||
| 地址 | 614800四川省乐山市五通桥竹根镇新华村 | ||