硅化镁法工艺生产硅烷过程中所排放氨气的回收循环利用方法及设备

摘要

本发明公开了一种硅化镁法工艺生产硅烷过程中所排放氨气的回收循环利用方法，其工艺步骤为：将硅化镁法工艺生产硅烷过程中产生的残渣排入氨气回收罐；当氨气回收罐内残渣温度上升，压力增高，氨气从渣体逸出，到达0.1MPa，氨气经过滤除尘、除硅烷后进入冷凝器；对冷凝器制冷，使氨气液化；然后液氨装入液氨储罐循环使用。同时，本发明还公开了实施该发明方法的设备。本发明方法，采用低温技术回收气态氨转化成液态氨再进行循环使用，既节约了液氨的用量，又保护了大气环境。本发明设备，结构简单、制造成本低廉、安装方便。

主权项

1. 一种硅化镁法工艺生产硅烷过程中所排放氨气的回收循环利用方法，其工艺步骤为：A、将硅化镁法工艺生产硅烷过程中产生的残渣排入氨气回收罐；B、当氨气回收罐内残渣温度上升，氨气从渣体逸出，氨气回收罐内压力增高，到达0.1MPa，将氨气经过滤除尘、除硅烷后送入冷凝器；再将氨气回收罐内剩余残渣排放；C、开动制冷机，使冷凝器温度低于-33.5℃，使氨气液化；D、将液氨装入液氨储罐，备用；E、生产硅烷时，储存在液氨储罐中的液氨送入硅烷反应炉循环使用。