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发明名称 Particle-optical Lens System and Method Employing Such a Lens System
摘要
申请公布号 KR100854695(B1) 申请公布日期 2008.08.27
申请号 KR20020010625 申请日期 2002.02.27
申请人 发明人
分类号 G02B7/28;G03F7/20;H01J37/10;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 G02B7/28
代理机构 代理人
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