直线运动执行机构及利用其的部件保持装置、芯片焊接装置

摘要

本发明提供一种可将轴向高度尺寸抑制为较小并可产生较大推力的直线运动执行机构和利用直线运动执行机构的装置。本发明的直线运动执行机构具备：筒状的内侧轭铁；筒状的第1内侧永久磁铁；筒状的第2内侧永久磁铁；磁性体制成的外侧轭铁；连接部件，将外侧轭铁和内侧轭铁相互连接；第1外侧永久磁铁；第2外侧永久磁铁；第1电枢线圈，可向轴向相对移动地配置在第1内侧永久磁铁和第1外侧永久磁体相互间；以及第2电枢线圈，可向轴向相对移动地配置在第2内侧永久磁铁和第2外侧永久磁体相互间。

主权项

1、一种直线运动执行机构，其特征在于，具备：筒状的内侧轭铁，由磁性体构成；筒状的第1内侧永久磁铁，与上述内侧轭铁的外周面接合，内周部被磁化为N极和S极中的一极、且外周部被磁化为另一极；筒状的第2内侧永久磁铁，沿轴向与上述第1内侧永久磁铁分离地与上述内侧轭铁的外周面接合，并且被磁化为内周部和外周部分别与上述第1内侧永久磁铁的相同部分成为相反极性；磁性体制成的外侧轭铁，形成为具有比上述第1内侧永久磁铁的外径尺寸和上述第2内侧永久磁铁的外径尺寸分别都大的内径尺寸的筒状，配置在上述第1内侧永久磁铁和上述第2内侧永久磁铁双方的外周部上；连接部件，以使上述外侧轭铁的内周面与上述第1内侧永久磁铁的外周面和上述第2内侧永久磁铁的外周面分别从径向隔开空隙地相对置的方式，将上述外侧轭铁和上述内侧轭铁相互连接；第1外侧永久磁铁，与上述外侧轭铁的内周面接合，形成为与上述第1内侧永久磁铁的外周面从径向隔开空隙地相对置的筒状，并且被磁化成内周部和外周部分别与上述第1内侧永久磁铁的相同部分成为相同极性；第2外侧永久磁铁，与上述第1外侧永久磁铁沿轴向分离地与上述外侧轭铁的内周面接合，形成为与上述第2内侧永久磁铁的外周面从径向隔开空隙地相对置的筒状，并且被磁化成内周部和外周部分别与上述第2内侧永久磁铁的相同部分成为相同极性；第1电枢线圈，将磁导线卷绕为筒状而成，可向轴向相对移动地插入到上述第1内侧永久磁铁和上述第1外侧永久磁铁相互间的空隙中；以及第2电枢线圈，将磁导线卷绕为筒状而成，可向轴向相对移动地插入到上述第2内侧永久磁铁和上述第2外侧永久磁铁相互间的空隙中、且与上述第1电枢线圈机械地连接，并且流过与上述第1电枢线圈反向的电流。