涂敷液供给装置及其狭缝涂敷式涂敷装置

摘要

一种涂敷液供给装置，其组合与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头，利用涂敷头和基板的任意一方相对于另一方的移动，对基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置来使用，其向涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于包括：涂敷液供给机构；将涂敷液加压的泵；位于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；检测出利用泵加压后的涂敷液压力并输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构；以及利用涂敷头对基板涂敷预定量的涂敷液、在上述开关阀处于开启之前、使通过泵加压后涂敷液压力成为所期望值地控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构；或者输入涂敷液压力信号，由上述泵加压后压力超出希望值幅度而发出警报的涂敷液压力不良警报机构。

主权项

1. 一种涂敷液供给装置，其与具有与基板对向配置的具有狭缝状开口的涂敷头、和利用上述涂敷头和上述基板的任意一个相对于另一个的移动，对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液的狭缝涂敷式涂敷装置相组合来使用，由此向上述涂敷头提供预定量的涂敷液，其特征在于，包括：在涂敷液源和上述狭缝涂敷式涂敷装置中的上述涂敷头之间延伸出的涂敷液供给机构；在上述涂敷液供给机构中，给上述涂敷液供给机构中的涂敷液加压的泵；在上述涂敷液供给机构中介于上述泵和上述涂敷头之间的开关阀；检测出被上述泵加压后的涂敷液压力，输出涂敷液压力信号的涂敷液压力检测机构，以及输入上述涂敷液压力检测机构检测出的涂敷液压力信号，为了通过上述涂敷头对上述基板以预定厚度涂敷预定量的涂敷液，在上述开关阀即将开启前使通过上述泵加压的涂敷液的压力变成为所期望的值，从而控制上述泵动作的涂敷液压力控制机构。