| 发明名称 | 一种矩形平面磁控溅射阴极 | ||
| 摘要 | 一种矩形平面磁控溅射阴极，具有靶材、阴极组件和设置在阴极组件外围的屏蔽罩，阴极组件中，磁路机构固定设置在靶座上并位于阴极体的内部，靶材固定设置在靶座的下部；其特征是在阴极组件的外周、位于屏蔽罩的内侧或外侧，整周设置导磁板。本发明可有效提高溅射过程的稳定性、提高靶材的利用率。 | ||
| 申请公布号 | CN101250687A | 申请公布日期 | 2008.08.27 |
| 申请号 | CN200810020139.7 | 申请日期 | 2008.03.26 |
| 申请人 | 合肥工业大学 | 发明人 | 陈长琦;郭江涛;王君 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01) | 主分类号 | C23C14/35(2006.01) |
| 代理机构 | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人 | 何梅生 |
| 主权项 | 1. 一种矩形平面磁控溅射阴极，具有靶材(27)、阴极组件和设置在阴极组件外围的屏蔽罩(2)，所述阴极组件中，磁路机构固定设置在靶座(30)上并位于阴极体(7)的内部，靶材(27)固定设置在靶座(30)的下部；其特征是在所述阴极组件的外周、位于屏蔽罩(2)的内侧或外侧，整周设置导磁板(23)。 | ||
| 地址 | 230009安徽省合肥市屯溪路193号 | ||