发明名称 平面倒装LED集成芯片及制造方法
摘要 本发明公开了一种成本低、易于集成、散热效果好的平面倒装LED集成芯片及制造方法。该集成芯片包括若干个LED裸芯片和硅衬底,LED裸芯片包括衬底(10)和N型外延层(11)、P型外延层(12),硅衬底顶面于各LED裸芯片处有两个分离的金属层(32、33),P型外延层(12)、N型外延层(11)分别通过焊球(40、41)倒装在金属层(32、33)上,金属层(32、33)与硅衬底的结合区分别还有一个隔离层I(22、23),各LED裸芯片对应的金属层(32、33)与硅衬底之间设有隔离层II(5),若干个LED裸芯片之间通过金属层(32、33)相连接并引出阳极接点(80)和阴极接点(81)。该方法包括形成隔离层、金属层、保护层及倒装LED的步骤。本发明可广泛应用于LED领域。
申请公布号 CN100414704C 申请公布日期 2008.08.27
申请号 CN200610036154.1 申请日期 2006.06.30
申请人 广州南科集成电子有限公司 发明人 吴纬国
分类号 H01L25/075(2006.01);H01L25/00(2006.01);H01L23/488(2006.01);H01L21/48(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L25/075(2006.01)
代理机构 广州市红荔专利代理有限公司 代理人 李彦孚
主权项 1. 一种平面倒装LED集成芯片,包括若干个LED裸芯片(1)和硅衬底(2),所述LED裸芯片(1)包括衬底(10)和N型外延层(11)、P型外延层(12),所述硅衬底(2)顶面于每个所述LED裸芯片(1)处有两个分离的沉积金属层(32、33),所述P型外延层(12)、所述N型外延层(11)分别通过焊球(40、41)倒装焊接在所述金属层(32、33)上,其特征在于:所述金属层(32、33)与所述硅衬底(2)的结合区分别还有一个掺杂的第一隔离层(22、23),所述第一隔离层(22、23)位于所述硅衬底(2)中,各所述LED裸芯片(1)对应的所述金属层(32、33)与所述硅衬底(2)之间设有第二隔离层(5),若干个所述LED裸芯片(1)之间通过所述金属层(32、33)相连接并引出阳极接点(80)和阴极接点(81)。
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