发明名称 |
卡塞格林二反射镜光学系统加工在线检验方法 |
摘要 |
本发明公开了一种卡塞格林二反射镜光学系统加工在线检验方法,它用于非完善成像的卡塞格林二反射镜光学系统加工时的在线检验。该光学检验系统由标准自准平面镜、被检卡塞格林光学系统、补偿透镜和非球面加工面形检测仪器组成。通过在非完善成像的卡塞格林二反射镜光学系统的后光路上加一补偿透镜来补偿原光学系统的球差,从而被检验的卡塞格林二反射镜光学系统在轴上点成完善像,满足主、副反射镜配对加工的需求。 |
申请公布号 |
CN101251436A |
申请公布日期 |
2008.08.27 |
申请号 |
CN200810035325.8 |
申请日期 |
2008.03.28 |
申请人 |
中国科学院上海技术物理研究所 |
发明人 |
沈蓓军 |
分类号 |
G01M11/00(2006.01);G01M11/02(2006.01) |
主分类号 |
G01M11/00(2006.01) |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 |
代理人 |
郭英 |
主权项 |
1. 一种卡塞格林二反射镜光学系统加工在线检验方法,它由标准自准直平面镜(1)、补偿透镜(3)和检测仪器(4)组成,其特征在于:在被检测的卡塞格林光学系统(2)的前方有能使检验光束原路返回的标准自准平面镜(1),在被检验的卡塞格林二反射镜光学系统(2)后光路中有一块用来补偿被检验的光学系统轴上球差的补偿透镜(3),在被检测的卡塞格林光学系统(2)的焦点上有用来测量副反射镜(201)非球面加工误差的检测仪器(4)。 |
地址 |
200083上海市玉田路500号 |