发明名称 一种LCD曝光机吸附平台升降缓动装置
摘要 本实用新型公开了一种LCD曝光机吸附平台升降缓动装置,包括吸附平台,在吸附平台上方有一光罩玻璃,在吸附平台下方有一固定座板,其特征在于:还包括位于固定座板下方的气缸座板,该固定座板通过多个轴与气缸座板连接,在固定座板和气缸座板之间设有一轴承座板,该轴承座板是套设在所述轴上,该轴承座板通过一连接件与吸附平台连接,在气缸座板上固定有平衡缓冲气缸和升降气缸,轴承座板与一拉回法兰活动连接,拉回法兰与升降气缸的活塞杆紧配,平衡缓冲气缸的平衡活塞杆与轴承座板配合的一端设有弹簧,弹簧与轴承座板紧配。由于采用了上述结构,故本实用新型结构简单、使用寿命长、曝光效果好。
申请公布号 CN201107545Y 申请公布日期 2008.08.27
申请号 CN200720059782.1 申请日期 2007.11.20
申请人 志圣科技(广州)有限公司 发明人 张光辉
分类号 G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 广州市南锋专利事务所有限公司 代理人 李永庆
主权项 1、一种LCD曝光机吸附平台升降缓动装置,包括吸附平台(2),在所述吸附平台(2)上方有一光罩玻璃(1),在所述吸附平台(2)下方有一固定座板(3),其特征在于:还包括位于固定座板(3)下方的气缸座板(5),该固定座板(3)通过多个轴(11)与所述气缸座板(5)连接,在所述固定座板(3)和气缸座板(5)之间设有一轴承座板(4),该轴承座板(4)是套设在所述轴(11)上,该轴承座板(4)通过一连接件(12)与所述吸附平台(2)连接,在所述气缸座板(5)上固定有平衡缓冲气缸(6)和升降气缸(8),所述轴承座板(4)与一拉回法兰(9)活动连接,该拉回法兰(9)与升降气缸(8)的活塞杆(81)紧配,所述平衡缓冲气缸(6)的平衡活塞杆(61)与轴承座板(4)配合的一端设有弹簧(7),该弹簧(7)与所述轴承座板(4)紧配。
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