发明名称 VERY LONG CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING
摘要
申请公布号 EP1960565(A2) 申请公布日期 2008.08.27
申请号 EP20060804278 申请日期 2006.10.02
申请人 THERMAL CONDUCTIVE BONDING, INC. 发明人 SIMPSON, WAYNE, R.;SCATENA, RYAN A.;STEVENSON, THOMAS R.;GUERRERO, JAIME F.
分类号 C23C14/32;C23C14/00 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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