| 发明名称 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИРКОНИЯ |
| 摘要 |
FIELD: physics. ^ SUBSTANCE: in the method of obtaining zirconium oxide films, substrates are treated with a homogenous gas mixture at molar ratio of zirconium tetrachloride to oxygen and nitrogen oxide of 1:1:(3.8-4.2). Before treatment the substrates are heated to 300-400C with gas flow velocity of 15-20 l/h. ^ EFFECT: obtaining zirconium oxide at low temperature. |
| 申请公布号 |
RU2007106833(A) |
申请公布日期 |
2008.08.27 |
| 申请号 |
RU20070106833 |
申请日期 |
2007.02.22 |
| 申请人 |
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ "ДАГЕСТАНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ" (ДГТУ) (RU) |
发明人 |
Исмаилов Тагир Абдурашидович (RU);Саркаров Таджидин Экберович (RU);Шахмаева Айшат Расуловна (RU);Шангереева Бийке Алиевна (RU) |
| 分类号 |
H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
