| 摘要 |
本发明系关于一种椭圆测量仪（ellipsometer），且更具体而言，系关于一种线性聚焦光束椭圆测量仪（linear focused-beam ellipsometer），其利用一圆柱光学系统（cylindrical optical system）将光线性地聚焦至一样本上并接着量测反射光之偏振状态之变化。该线性聚焦光束椭圆测量仪包含：一分光部件（beam splitting part），用于将一光源中所产生之一光分离成一偏振光；一聚焦部件（focusing part），用于将由该分光部件所分离之光聚焦至一样本上；以及一光侦测部件（photodetection part），用于侦测自该样本反射后穿过该聚焦部件及该分光部件之光，其中该聚焦部件系线性地聚焦该分离光至该样本。该分光部件所分离之光系线性地聚焦至复数个样本上，并针对多个入射角量测反射光之偏振状态之变化。因此，可同时量测复数个样本。 |
