| 摘要 |
〔课题〕提供可大幅地缩短单位工时（Tact Time）的基板之搬送涂布装置。〔解决手段〕从藉由搬送机构14的垫14a保持处理后的基板W1，藉由搬送机构13的垫13a保持了未处理的基板W2的状态，搬送机构13、14系移动于图中右侧，处理后的基板W1系朝向交接的位置、未处理的基板W2系向涂布处理部S2浮上搬送。接着，在涂布处理部S2于未处理的基板W2表面涂布涂布液时，搬送机构14系返回定位位置，保持接下来的未处理的基板W3。接着，搬送机构13系将已结束涂布处理的基板W2搬送至基板搬出部S3，搬送机构14系将未处理的基板W3搬送至涂布处理部S2之处。之后，搬送机构13、14系移动至图中右侧，处理后的基板W2系朝向交接位置，未处理的基板W3系向涂布处理部S2浮上搬送。 |
