具有铁氧体结构之电浆源及使用其之电浆产生装置

摘要

本发明提供一种具有铁氧体结构之电浆源及使用其之电浆产生装置，该电浆源包括有可将一个环状线状天线单元所辐射形成的场集中于反应室内的加工基板上的铁氧体结构，该线状天线单元具有形成于反应室内之上部的第一天线及第二天线，且第一天线及第二天线各以其一端彼此连接；利用具有铁氧体结构的电浆源及使用其之电浆产生装置，可藉着将辐射形成的场集中于加工基板上以减少功率损耗，以提高半导体制程的效率和产量并提高反应室中之电浆密度和均匀度。