涡轮分子泵

摘要

本发明系关于一种涡轮分子泵(10)，其包括一泵壳(14)与复数个分离之环状定子轮叶盘(16)，该等分离之环状定子轮叶盘共同组成一环状盘组(18, pack of annular disks)。一柱形摩擦衬套(20)直接地装设于前述环状盘组(18)与泵壳(14)间。轴向间隙(22)轴向地提供于环状盘组(18)与泵壳(14)间，以便该环状盘组(18)为可转动的。