发明名称 探针
摘要 本发明之探针,具有:梁部,受悬臂支持于支持部;及接触件,从梁部之自由端部往直角方向下方延伸。于梁部之固定端部侧之接触件侧部,形成有内侧切入部,于梁部之自由端部侧之接触件侧部,形成有外侧切入部,外侧切入部与内侧切入部形成为,当接触件对于受检查体之电极以既定接触压力接触时,使得接触件挠曲。依照本发明,于受检查体之电特性检查,能适当维持探针与受检查体之接触性,并提升探针之耐久性。
申请公布号 TW200935066 申请公布日期 2009.08.16
申请号 TW097142650 申请日期 2008.11.05
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 米泽俊裕
分类号 G01R1/067(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 G01R1/067(2006.01)
代理机构 代理人 周良谋;周良吉
主权项
地址 日本