发明名称 | 探针 | ||
摘要 | 本发明之探针,具有:梁部,受悬臂支持于支持部;及接触件,从梁部之自由端部往直角方向下方延伸。于梁部之固定端部侧之接触件侧部,形成有内侧切入部,于梁部之自由端部侧之接触件侧部,形成有外侧切入部,外侧切入部与内侧切入部形成为,当接触件对于受检查体之电极以既定接触压力接触时,使得接触件挠曲。依照本发明,于受检查体之电特性检查,能适当维持探针与受检查体之接触性,并提升探针之耐久性。 | ||
申请公布号 | TW200935066 | 申请公布日期 | 2009.08.16 |
申请号 | TW097142650 | 申请日期 | 2008.11.05 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 米泽俊裕 |
分类号 | G01R1/067(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R1/067(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 周良谋;周良吉 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |