发明名称 |
集成永磁双稳态微电磁驱动器 |
摘要 |
一种属于精密机械技术领域集成永磁双稳态微电磁驱动器,本发明包括:衬底、定子、动子,所述的定子包括:微驱动线圈绕组、永磁体、软磁磁轭,永磁体位于微驱动线圈绕组,软磁磁轭位于微驱动线圈绕组的下方和四周,软磁磁轭位于永磁体下方,定子和动子固定在衬底上。本发明满足微型光开关等器件对微驱动器在行程、驱动力、响应时间、功耗、集成制造等方面的综合要求。 |
申请公布号 |
CN100414651C |
申请公布日期 |
2008.08.27 |
申请号 |
CN200510025939.4 |
申请日期 |
2005.05.19 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
戴旭涵;赵小林;丁桂甫;汪红;蔡炳初 |
分类号 |
H01F7/122(2006.01);H01H51/01(2006.01) |
主分类号 |
H01F7/122(2006.01) |
代理机构 |
上海交达专利事务所 |
代理人 |
王锡麟;王桂忠 |
主权项 |
1. 一种集成永磁双稳态微电磁驱动器,包括:衬底(1)、定子(2)、动子(3),其特征在于,所述的定子(2)包括:微驱动线圈绕组(4)、永磁体(5)、软磁磁轭(6),永磁体(5)位于微驱动线圈绕组(4)中央,软磁磁轭(6)位于微驱动线圈绕组(4)的下方和四周,软磁磁轭(6)位于永磁体(5)下方,定子(2)和动子(3)固定在衬底(1)上;所述的动子(3)包括:微悬臂梁(7)和软磁衔铁(8),软磁衔铁(8)通过衬底(1)上的微悬臂梁(7)固定在软磁磁轭(6)、永磁体(5)的上方。 |
地址 |
200240上海市闵行区东川路800号 |