发明名称 | 微结构及其制造方法 | ||
摘要 | 一种制造微结构的方法,它包括在含硅弹性体的表面中形成图案;将所述图案与一基底接触;将所述氧化图案与所述基底粘合,从而使得所述图案与所述基底不可逆地附着在一起。该含硅弹性体可以可除去地附着在一转印垫上。 | ||
申请公布号 | CN100413778C | 申请公布日期 | 2008.08.27 |
申请号 | CN03823444.0 | 申请日期 | 2003.08.28 |
申请人 | 伊利诺斯大学理事会 | 发明人 | 拉尔夫·G·努佐;威廉·罗伯特·蔡尔兹 |
分类号 | B81C1/00(2006.01) | 主分类号 | B81C1/00(2006.01) |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王永建 |
主权项 | 1. 一种制造微结构的方法,该方法包括:在含硅弹性体的表面上形成图案;氧化该带有图案的表面;将该氧化的带有图案的表面与一基底接触;以及将该氧化的带有图案的表面与该基底粘合,以使该带有图案的表面与该基底被不可逆地附着在一起;其中所述带有图案的表面包括至多1000微米的特征。 | ||
地址 | 美国伊利诺斯州 |