发明名称 微结构及其制造方法
摘要 一种制造微结构的方法,它包括在含硅弹性体的表面中形成图案;将所述图案与一基底接触;将所述氧化图案与所述基底粘合,从而使得所述图案与所述基底不可逆地附着在一起。该含硅弹性体可以可除去地附着在一转印垫上。
申请公布号 CN100413778C 申请公布日期 2008.08.27
申请号 CN03823444.0 申请日期 2003.08.28
申请人 伊利诺斯大学理事会 发明人 拉尔夫·G·努佐;威廉·罗伯特·蔡尔兹
分类号 B81C1/00(2006.01) 主分类号 B81C1/00(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 王永建
主权项 1. 一种制造微结构的方法,该方法包括:在含硅弹性体的表面上形成图案;氧化该带有图案的表面;将该氧化的带有图案的表面与一基底接触;以及将该氧化的带有图案的表面与该基底粘合,以使该带有图案的表面与该基底被不可逆地附着在一起;其中所述带有图案的表面包括至多1000微米的特征。
地址 美国伊利诺斯州