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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100854559(B1) 申请公布日期 2008.08.26
申请号 KR20070006039 申请日期 2007.01.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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