| 发明名称 |
ION SOURCES, SYSTEMS AND METHODS |
| 摘要 |
Ion sources, systems and methods are disclosed. |
| 申请公布号 |
KR20080078027(A) |
申请公布日期 |
2008.08.26 |
| 申请号 |
KR20087015923 |
申请日期 |
2006.11.15 |
| 申请人 |
ALIS CORPORATION |
发明人 |
WARD BILLY W.;NOTTE JOHN A. IV;FARKAS III LOUIS S.;PERCIVAL RANDALL G.;HILL RAYMOND;GROHOLSKI ALEXANDER;COMUNALE RICHARD |
| 分类号 |
H01L21/265;H01J37/30;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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