Chuck assembly and high density plasma equipment having the same,申请号KR20070014453-传众专利搜索

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发明名称	Chuck assembly and high density plasma equipment having the same
摘要
申请公布号	KR100854500(B1)	申请公布日期	2008.08.26
申请号	KR20070014453	申请日期	2007.02.12
申请人		发明人
分类号	C23C16/458;C23C16/50	主分类号	C23C16/458
代理机构		代理人
主权项
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