METHOD OF CLAMPING A SUBSTRATE AND CLAMP PREPARATION UNIT

摘要

본 발명은 기판 지지 구조(23)의 표면상에 기판(22)을 클램핑하는 방법에 관한 것이다. 첫 째, 액체는 기판 지지 구조의 표면상에 도포된다. 표면은 다수의 접촉 엘리먼트들을 구비한다. 액체는 접촉 엘리먼트들이 액체층에 의해 완전히 커버되도록 적용된다. 그 다음 기판이 제공되고 액체층 위에 배치된다. 마지막으로, 기판 아래 액체는 기판이 다수의 접촉 엘리먼트들 상에 자리하고 기판 및 기판 지지 구조의 표면 사이 액체의 모세관 층에 의해 가해지는 모세관 클램핑 힘에 의해 클램핑되도록 제거된다.