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发明名称
Vakuumbeschichtungsanlage mit in Clustern angeordneten Prozessstationen
摘要
申请公布号
DE10332163(B4)
申请公布日期
2008.08.21
申请号
DE20031032163
申请日期
2003.07.15
申请人
VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH
发明人
DIMER, MARTIN;HARTUNG, JOHANNES;HECHT, CHRISTIAN;ERBKAMM, WOLFGANG;BAUER, REINHARDT
分类号
C23C14/56;B65G37/02;B65G47/52;H01L21/00
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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