摘要 |
Die Erfindung betrifft einen vollaktiven Piezoaktor (9) und ein Verfahren zum Herstellen eines vollaktiven Piezoaktors (9). Zunächst wird ein vollaktiver Piezostapel (1) bereitgestellt, der abwechselnd aufeinanderfolgende piezoelektrische Schichten (2) und bis an die Außenseite (5, 6) des Piezostapels (1) durchgehende Innenelektroden (3, 4) aufweist, die jeweils einen für eine Beschichtung (70) schlecht oder nicht haftenden ersten Bereich (31) und einen für die Beschichtung (80) gut haftenden zweiten Bereich (32) aufweisen. Die Innenelektroden (3, 4) sind vorgesehen, abwechselnd eine erste (10) und eine zweite Außenelektrode (11) des Piezoaktors (9) mit ihren ersten Bereichen (31) zu kontaktieren. Die Außenseite (5, 6) des vollaktiven Piezostapels (1) wird mit der Beschichtung (70) zumindest in Bereichen, denen die Außenelektroden (10, 11) des Piezoaktors (9) zugeordnet sind, beschichtet. Anschließend wird die Beschichtung (70) in Bereichen, die an die ersten Bereiche (31) der Innenelektroden (3, 4) grenzen, entfernt und die beiden Außenelektroden (10, 11) werden auf die Beschichtung (80) aufgetragen, so dass die Außenelektroden (10, 11) die ersten Bereiche (31) der Innenelektroden (3, 4) kontaktieren und ansonsten zwischen den Innenelektroden (3, 4) und den Außenelektroden (10, 11) die Beschichtung (80) angeordnet ist.
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