发明名称 Mikrosystem zur Stoffanalyse und dessen Herstellung
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erfassung von Gasen und Molekülen und/oder Stoffen, insbesondere von thermisch instabilen Stoffen, sowie ein Verfahren zur Erzeugung einer derartigen Vorrichtung. Durch die Erzeugung einer sensitiven Nanostrukturschicht, die eine geordnete nanokristalline Struktur aufweist, kann die chemische Reaktivität eines Sensors durch Ausbilden einer im Vergleich zum Stand der Technik großen Sensorfläche ein Erfassen bei zum Stand der Technik niedrigen Temperaturen erfolgen. Auf diese Weise sind insbesondere thermisch instabile Geruchsstoffe derart erfassbar, dass die Gase oder Moleküle oder Stoffe direkt nachgewiesen werden können und nicht deren Reaktions- und Abbauprodukte. Die vorliegende Erfindung eignet sich zur Erfassung beliebiger Gase oder Moleküle oder Stoffe, diese ist aber für thermisch instabile Geruchsstoffe besonders geeignet.
申请公布号 DE102007003152(A1) 申请公布日期 2008.08.21
申请号 DE200710003152 申请日期 2007.01.22
申请人 SIEMENS AG 发明人 ECKSTEIN, GERALD;FLEISCHER, MAXIMILIAN;SICKERT, DANIEL
分类号 G01N27/12 主分类号 G01N27/12
代理机构 代理人
主权项
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