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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Mikrohalbleiterbauelementen
摘要
申请公布号 DE60317264(T2) 申请公布日期 2008.08.21
申请号 DE20036017264T 申请日期 2003.06.06
申请人 SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO. LTD. 发明人 KOIZUMI, NAOYUKI;MASHINO, NAOHIRO;KURIHARA, TAKASHI
分类号 H01L21/52;H01L21/78;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/44;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
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