发明名称 |
应用奈米小球形成二维图案的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种形成二维图案的方法,其包含:在一基板上涂覆多个小球;利用所述小球于所述基板上形成一屏蔽;蚀刻所述基板;及自所述基板移除所述屏蔽。此外,本发明另涉及一种处理一基板表面之方法,其包含:在所述基板表面上涂覆多个小球;在所述小球之间沉积一物质;及移除所述小球以在所述基板表面留下所述沉积之物质。根据本发明所提供的方法,其可提供更快、更简易及低成本之制程。此外,其所制作成之发光装置可具有较佳的光萃取效率及可变的光场图案。 |
申请公布号 |
CN101246937A |
申请公布日期 |
2008.08.20 |
申请号 |
CN200710080267.6 |
申请日期 |
2007.02.15 |
申请人 |
香港应用科技研究院有限公司 |
发明人 |
郭浩中;唐诗韵;褚宏深;蔡勇 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01S5/00(2006.01);G02B6/122(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
王允方;刘国伟 |
主权项 |
1. 一种形成二维图案的方法,其包含:在一基板上涂覆多个小球;利用所述小球于所述基板上形成一屏蔽;蚀刻所述基板;及自所述基板移除所述屏蔽。 |
地址 |
中国香港新界沙田香港科学园科技大道西二号生物信息中心3楼 |