发明名称 应用奈米小球形成二维图案的方法
摘要 本发明涉及一种形成二维图案的方法,其包含:在一基板上涂覆多个小球;利用所述小球于所述基板上形成一屏蔽;蚀刻所述基板;及自所述基板移除所述屏蔽。此外,本发明另涉及一种处理一基板表面之方法,其包含:在所述基板表面上涂覆多个小球;在所述小球之间沉积一物质;及移除所述小球以在所述基板表面留下所述沉积之物质。根据本发明所提供的方法,其可提供更快、更简易及低成本之制程。此外,其所制作成之发光装置可具有较佳的光萃取效率及可变的光场图案。
申请公布号 CN101246937A 申请公布日期 2008.08.20
申请号 CN200710080267.6 申请日期 2007.02.15
申请人 香港应用科技研究院有限公司 发明人 郭浩中;唐诗韵;褚宏深;蔡勇
分类号 H01L33/00(2006.01);H01L21/02(2006.01);H01S5/00(2006.01);G02B6/122(2006.01) 主分类号 H01L33/00(2006.01)
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 代理人 王允方;刘国伟
主权项 1. 一种形成二维图案的方法,其包含:在一基板上涂覆多个小球;利用所述小球于所述基板上形成一屏蔽;蚀刻所述基板;及自所述基板移除所述屏蔽。
地址 中国香港新界沙田香港科学园科技大道西二号生物信息中心3楼