电子器件制造系统及其制造方法

摘要

本发明提供能够按每一制品等地收集环境负载数据的电子器件制造系统、电子器件的制造方法、电子器件及电光装置。其具备：处理多个收存有多个工件(26)的批(L)，具有：按每批单位计测收存于多个批(L)的各批的多个工件(26)的处理时间的时间计测部(16)，计测对应于按每批单位所计测到的多个工件(26)的处理时间的环境信息的环境信息计测部(16)，和可以发送接收的通信部(14)的处理单元(80)；和对应于多个批(L)的各批而设置，可以与处理单元(80)的通信部(14)进行发送接收，具有接收、存储批(L)的多个工件(26)的处理时间、环境信息的存储部的工件信息管理单元(30)。

主权项

1. 一种电子器件制造系统，其特征在于，具备：处理单元，其处理多个由多个工件所构成的批，具有：按每批单位对构成上述多个批的各批的上述多个工件的处理时间进行计测的时间计测部，对与按上述每批单位所计测到的上述多个工件的上述处理时间对应的环境信息进行计测的环境信息计测部，和能够发送接收的通信部；和工件信息管理单元，其对应于上述多个批的各批而设置，能够与上述处理单元的上述通信部进行发送接收，具有接收、存储上述批的上述多个工件的上述处理时间、环境信息的存储部。