SMALL VOLUME SYMMETRIC FLOW SINGLE WAFER ALD APPARATUS,申请号EP20060848792-传众专利搜索

发明名称	SMALL VOLUME SYMMETRIC FLOW SINGLE WAFER ALD APPARATUS
摘要
申请公布号	EP1957688(A2)	申请公布日期	2008.08.20
申请号	EP20060848792	申请日期	2006.11.22
申请人	GENUS, INC.	发明人	DALTON, JEREMIE, J.;DAUELSBERG, MARTIN;DOERING, KENNETH;KARIM, M., ZIAUL;SEIDEL, THOMAS, E.;STRAUCH, GERHARD, K.
分类号	C23C16/00	主分类号	C23C16/00
代理机构		代理人
主权项
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