可调滤光组件

摘要

本发明涉及波长选择性并且可调的滤光器，该滤光器用于透射中心在可调波长附近的窄光波段中的光，并且阻挡该波段之外的波长的透射。在微加工的单片结构中包含适当的滤光器(M1、M2、C)，该组件包括用于将滤光器的调谐控制伺服于滤光器接收波长的低吸收性光探测元件(70、72、74、76、42)，该元件透射该波长的辐射的主要部分。该滤光器为法布里-珀罗干涉滤光器，该滤光器的腔(C)调谐为某值，可使由光探测元件探测的功率最大化。该滤光器最好基于磷化铟层和空气间隙。探测元件最好包括适于探测要使用的波段的砷化镓铟层74。应用于光纤通信。

主权项

1. 一种可调滤光组件，包括，在微加工的单片结构上制造的可调滤光器(M1、M2、C)，其特点在于，微加工的单片结构进一步包括，光探测元件(70，72，74，76，42)，用于根据滤光器接受到的波长而伺服控制滤光器的调谐控制，被过滤的光的大部分可透射过该元件。