薄膜硅太阳能电池的背接触层

摘要

本发明公开了一种新型薄膜硅太阳能电池的背接触层。尽管以银作为背接触层的小型太阳能电池可具有很高的效能，但银很难被可靠地用于生产基于薄膜硅的光伏器件，因为它的稳定性很差，并且会强化分流。为大幅度提高成品率和稳定性，在制作高性能的大面积、低成本的薄膜硅光伏模板时，背接触层可选用其它金属材料，如镍－钒合金、钯或白金等。它们的反射率高、电阻系数低、能较好地和氧化锌这样的透明导电氧化物(TCO)相兼容，并且稳定性很强。

主权项

1. 一个光伏器件，其特征在于：该光伏器件包括：a)一个透明导电前电极。该电极由掺杂型SnO2或掺杂型ZnO这样的透明导电氧化物制成，包括氟掺杂的氧化锡(SnO2:F)和铝掺杂的氧化锌(ZnO:Al)；b)一个p-i-n叠层结构。该结构由非掺杂的薄膜硅或富含硅的合金制成，包含p层、本征(非掺杂)i层和n层；c)另外一个p-i-n叠层结构，用来形成多结光伏器件。所述多结光伏器件可以和ZnO:Al这样的TCO薄膜结合，形成p/i/n/ZnO/p/i/n这样的结构，其中i层可以包含不同的硅合金薄膜，包括非晶硅、混合相位的硅、纳米晶硅，或者异相硅；d)一个TCO膜层。该膜层包含一个或多个由ZnO，ITO，SnO2，TiO2或其他材料制成的子层；e)一个金属膜。该金属膜的厚度在20-1000纳米之间，最好是在100-300纳米之间，由镍钒合金制成，其中钒的密度(分数)为0-100％，3-25％更好，7-15％最好；f)一个选择性附加金属膜或薄膜叠层。由铝或银制成，厚度小于500纳米。