模块化曝光系统

摘要

本发明涉及一种模块化曝光系统，该曝光系统包括：用于对具有光敏介质层的曝光基体进行曝光的曝光机构；用于使曝光基体与曝光机构进行相对运动的传动机构，其中曝光机构包括多个曝光模块，该曝光系统进一步包括用于对曝光机构中的曝光模块进行检测的故障检测机构以及用于根据故障检测机构的检测结果替换故障曝光模块或故障曝光模块的可替换元件的替换机构。通过采用上述结构，对曝光系统的曝光机构实现可替换模块化设计，并利用实时在线检测以及替换式修复保证整个曝光系统的可靠应用。

主权项

1. 一种模块化曝光系统，所述曝光系统包括：用于对具有光敏介质层的曝光基体进行曝光的曝光机构；用于使所述曝光基体与所述曝光机构进行相对运动的传动机构，其特征在于：所述曝光机构包括多个曝光模块，所述曝光系统进一步包括用于对所述曝光机构中的曝光模块进行检测的故障检测机构以及用于根据所述故障检测机构的检测结果替换故障曝光模块或所述故障曝光模块的可替换元件的替换机构。