光电探测系统的带非晶金刚石膜的玻璃球罩及其制备方法

摘要

光电探测系统的带非晶金刚石膜的玻璃球罩及其制备方法，它属于硬质表面的玻璃球罩及制备方法。它为克服OEPS－27光电探测系统外部的玻璃球罩硬度低、抗划擦性和耐腐蚀性较差、表面易损伤以及现有涂敷非晶金刚石薄膜的方法不能在球罩玻璃上牢固地涂敷非晶金刚石薄膜的缺点而提出。它由球罩玻璃基底、硅膜中间层和非晶金刚石膜层组成；硅膜中间层镀在球罩玻璃基底的外表面，非晶金刚石膜层镀在硅膜中间层的外表面。其制备步骤如下：一清洗球罩玻璃基底，二电离反溅，三沉积硅膜中间层，四离子刻蚀，五在硅膜中间层上沉积非晶金刚石膜层。本发明有益效果在于使玻璃球罩具有硬度高、抗划擦和耐腐蚀性好、在光学工作波段具有良好的透过率。

主权项

1、光电探测系统的带非晶金刚石膜的玻璃球罩，其特征在于它包括球罩玻璃基底(1)，硅膜中间层(2)和非晶金刚石膜层(3)；硅膜中间层(2)镀制在球罩玻璃基底(1)的外表面上，非晶金刚石膜层(3)镀制在硅膜中间层(2)的外表面上。