感测氢气的方法和装置

摘要

一种氢传感器和/或开关，由金属或金属合金构成的纳米线阵列或纳米微粒子厚膜制成。由于制造材料和方法的缘故，该传感器和/或开关展示了较宽的工作温度范围和缩短的响应时间。在氢存在时纳米线或纳米微粒子厚膜展示了导电率的增加。

主权项

1. 一种感测氢的装置，包括：基底，其中多个纳米微粒子淀积在基底上以形成至少一个纳米微粒子路径，其中所述至少一个纳米微粒子路径在存在氢时显示出电导率的增加和在不存在氢时显示出电导率降低，以及，其中所述至少一个纳米微粒子路径使用侧壁电镀技术在接近基底处形成，以及，其中由于所述基底的不导电性质，在整个基底的电导率上，至少所述一个纳米微粒子路径的电导率是容易辨别的，其中多个纳米微粒子被淀积到金属层的至少一个侧壁，以及其中当金属层在基底上的同时淀积多个纳米微粒子，并且在淀积多个纳米微粒子后从基底去除金属层。