发明名称 |
等离子体反应室温控系统在线故障检测装置及其方法 |
摘要 |
本发明涉及晶片加工反应室的温度控制装置。本发明公开的等离子体反应室温控系统在线故障检测装置及其方法,包括:反应室、抽气腔及其对应的控制回路、每个控制回路有若干个加热器;在每个控制回路中还设有至少两个温度传感器,其中,温度传感器布置在偏离加热器对角线的位置。方法:1)当某个控制回路中的加热器损坏时,该控制回路的两个传感器反馈回来的温度值分别为t1和t2;2)计算t1和t2的差值的绝对值;3)当t1和t2的差值的绝对值大于一个阈值时,判定该控制回路的一个加热器损坏。 |
申请公布号 |
CN100413021C |
申请公布日期 |
2008.08.20 |
申请号 |
CN200510126268.0 |
申请日期 |
2005.12.02 |
申请人 |
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
发明人 |
孙岩 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);C23F4/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 |
代理人 |
练光东 |
主权项 |
1. 一种等离子体反应室温控系统在线故障检测方法,包括在离子体反应室中设置有温度控制回路(5),在所述温度控制回路(5)中设置若干个加热器(H)和至少两个温度传感器(T),其特征在于有以下步骤:1)当某个加热器(H)损坏时,该温度控制回路(5)中的两个传感器(T1、T2)反馈回来的温度值分别为t1和t2;2)计算t1和t2的差值的绝对值;3)当t1和t2的差值的绝对值大于一个阈值时,判定该控制回路(5)的一个加热器(H)损坏。 |
地址 |
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 |