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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1699077(A4) 申请公布日期 2008.08.20
申请号 EP20040820676 申请日期 2004.12.07
申请人 MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. 发明人 KAWANO, YUICHI;SHIMAZU, TADASHI;NISHIMORI, TOSHIHIKO;YOSHIDA, KAZUTO
分类号 H01L21/31;C23C16/44;H01J37/32 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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