| 发明名称 | 一种减少STI HDP制成中蛋卷状颗粒的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种减少STI HDP制成中蛋卷状颗粒的方法，包括：步骤一、检查晶圆边缘的长度并记录；步骤二、判断步骤一所得晶圆边缘的长度是否大于设定的参数，若大于则进入步骤三，否则进入步骤四；步骤三、进行STI HDP较长预热时间的制成；步骤四、进行STI HDP正常预热时间的制成。本发明由于充分利用实验验证数据，根据晶元边缘的一些特征来调整STI HDP制成预热时间，可有效减少STI HDP制成中蛋卷状颗粒，并最终提高产品量率。 | ||
| 申请公布号 | CN101246841A | 申请公布日期 | 2008.08.20 |
| 申请号 | CN200710037429.8 | 申请日期 | 2007.02.12 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 孙玲玲;肖春光;郑金福;李彬 |
| 分类号 | H01L21/762(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H01L21/762(2006.01) |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 顾继光 |
| 主权项 | 1. 一种减少STI HDP制成中蛋卷状颗粒的方法，其特征在于，包括：步骤一、检查晶圆边缘的长度并记录；步骤二、判断步骤一所得晶圆边缘的长度是否大于设定的参数，若大于则进入步骤三，否则进入步骤四；步骤三、进行STI HDP较长预热时间的制成；步骤四、进行STI HDP正常预热时间的制成。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||