| 发明名称 | 基底位置检测方法、基底处理方法和基底处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明披露了基底位置检测方法、基底处理方法和基底处理装置，具体披露了一种对放置在支撑板上的基底的位置进行检测的方法，其中，通过测量支撑板的温度来检测放置在支撑板上的基底的位置。将基底放置在支撑板上之后，测量支撑板的温度并且将它与参考温度进行比较。如果测量温度处于参考温度范围之内，则判定基底是放置在支撑板上的适当位置处。另一方面，如果测量温度处于参考温度范围之外，则判定基底不在支撑板上的适当位置处。当基底不是放置在支撑板上的适当位置处时，就产生警报，或者中止对基底的处理。 | ||
| 申请公布号 | CN101246833A | 申请公布日期 | 2008.08.20 |
| 申请号 | CN200810004753.4 | 申请日期 | 2008.01.28 |
| 申请人 | PSK有限公司 | 发明人 | 成乐范 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);G03F7/42(2006.01);G01B21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陈桂香;武玉琴 |
| 主权项 | 1.一种对放置在支撑板上的基底的位置进行检测的方法，包括：测量所述支撑板的温度；并且将所述测量温度与预定参考温度进行比较，从而检测基底的位置。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||