发明名称 控制ZnO纳米柱阵列密度的方法
摘要 本发明涉及一种控制ZnO纳米柱阵列密度的方法,特征是控制复合溶胶体系中锌离子与M<SUP>x+</SUP>离子的浓度比([Zn<SUP>2+</SUP>]/[M<SUP>x+</SUP>]),调节复合薄膜中ZnO与MO<SUB>x</SUB>的颗粒大小和分布状态,并且利用水溶液法制备ZnO纳米柱阵列时,生长初始阶段ZnO纳米柱晶核对籽晶层中ZnO晶粒的选择性生长来实现对其密度的调节。在所述的方法中,将少量的MO<SUB>x</SUB>溶胶与ZnO溶胶混合,搅拌均匀后形成稳定的复合溶胶。然后采用浸渍提拉法将其沉积到基片上,热处理后形成ZnO-MO<SUB>x</SUB>复合籽晶层。将ZnO-MO<SUB>x</SUB>的复合籽晶层浸入由Zn(NO<SUB>3</SUB>)<SUB>2</SUB>,NaOH和H<SUB>2</SUB>O组成的生长液中,50-90℃下生长0.5-5h后,在籽晶层上形成具有一定密度的ZnO阵列。控制MO<SUB>x</SUB>溶胶的加入量,调节ZnO阵列的密度。
申请公布号 CN101244895A 申请公布日期 2008.08.20
申请号 CN200710037624.0 申请日期 2007.02.16
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 李效民;邱继军;于伟东;高相东
分类号 C03C17/25(2006.01);B82B3/00(2006.01) 主分类号 C03C17/25(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 潘振甦
主权项 1. 控制ZnO纳米柱阵列密度的方法,其特征在于通过控制ZnO-MOx 复合溶胶体系中锌离子与Mx+离子的浓度比[Zn2+]/[Mx+],调节ZnO-MOx复合薄膜中ZnO与MOx的颗粒大小和分布状态,并且利用水溶液法制备ZnO纳米柱阵列时,生长初始阶段ZnO纳米柱晶核对籽晶层中ZnO晶粒的选择性生长来实现对其密度的调节,具体步骤是:①将少量的MOx溶胶与ZnO溶胶混合,搅拌均匀后形成稳定的复合溶胶;②然后采用浸渍提拉法将其沉积到基片上,热处理后形成ZnO-MOx复合籽晶层;③将ZnO-MOx的复合籽晶层浸入由Zn(NO3)2,NaOH和H2O组成的生长液中,50-90℃下生长后,在籽晶层上形成具有一定密度的ZnO阵列,通过控制MOx溶胶的加入量,调节ZnO阵列的密度;所述Mx+离子为二价、三价、或四价的阳离子。
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