发明名称 压电振动器以及其制造方法
摘要 本发明是有关于一种压电振动器以及其制造方法。该压电振动器,比如一种共振器,用来作为计时元件、鉴别器、过滤器等。本发明的压电振动器的制作可以利用形成一种压电薄片的压电主体,控制其厚度,然后同时沿着薄片烧结覆盖层,其上会形成有凹槽。
申请公布号 CN100413111C 申请公布日期 2008.08.20
申请号 CN03822858.0 申请日期 2003.09.26
申请人 英诺晶片科技股份有限公司;黄舜夏;朴寅吉;金德熙 发明人 朴寅吉;金德熙
分类号 H01L41/08(2006.01);H03H9/15(2006.01) 主分类号 H01L41/08(2006.01)
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人 寿宁
主权项 1. 一种振动器,其特征在于其包括:一压电薄片;内部电极,形成在该压电薄片的上与下区域上;覆盖层,所述覆盖层会形成在其上形成有所述内部电极的该压电薄片的上与下区域上,所述覆盖层中具有振动凹槽;以及外部电极,与所述内部电极相连接;其中,该压电薄片是用一浆状薄片形成,而该振动器是通过同时烧结该压电薄片与所述覆盖层而成,且每一所述覆盖层形成有一燃烧通道,所述燃烧通道与所述振动凹槽相沟通。
地址 韩国京畿道