发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING A SAWN WAFER BLOCK
摘要
申请公布号 EP1957247(A1) 申请公布日期 2008.08.20
申请号 EP20060829352 申请日期 2006.12.06
申请人 STANGL SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AG 发明人 STANGL, WOLFGANG;STANGL, HANS-JUERGEN
分类号 B28D5/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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