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"CONTROLAR COMPORTAMENTO ELETROMECáNICO DE ESTRUTURAS EM UM DISPOSITIVO DE SISTEMAS MICROELETROMECáNICOS". Em uma modalidade, a invenção provê um método para fabricar um dispositivo de sistemas microeletromecânicos. O método compreende fabricar uma primeira camada compreendendo um filme tendo uma resposta eletromecânica característica, e uma resposta óptica característica, onde a resposta óptica característica é desejável e a resposta eletromecânica característica é indesejável; e modificar a resposta eletromecânica característica da primeira camada ao reduzir pelo menos o acúmulo de carga sobre a mesma durante ativacão do dispositivo de sistemas microeletromecânicos.
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