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经营范围
发明名称
CARRYING SYSTEM, SUBSTRATE TREATING DEVICE, AND CARRYING METHOD
摘要
申请公布号
KR100852378(B1)
申请公布日期
2008.08.18
申请号
KR20077010539
申请日期
2007.05.09
申请人
发明人
分类号
B65G47/46;B65G47/88;B65G49/07;H01L21/677
主分类号
B65G47/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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