发明名称 CARRYING SYSTEM, SUBSTRATE TREATING DEVICE, AND CARRYING METHOD
摘要
申请公布号 KR100852378(B1) 申请公布日期 2008.08.18
申请号 KR20077010539 申请日期 2007.05.09
申请人 发明人
分类号 B65G47/46;B65G47/88;B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G47/46
代理机构 代理人
主权项
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