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发明名称 Gas supply device for manufacturing electronic material
摘要
申请公布号 KR100852624(B1) 申请公布日期 2008.08.18
申请号 KR20060091941 申请日期 2006.09.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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