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发明名称 Method for fabricating III-V compound semiconductor
摘要
申请公布号 KR100852609(B1) 申请公布日期 2008.08.18
申请号 KR20020002504 申请日期 2002.01.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;C30B25/02;H01L21/205;H01L33/12;H01L33/30 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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