溅射用靶装置

摘要

本发明涉及一种相对大面积物件物的行进方向而配置在宽度方向上的溅射用靶装置，该溅射用靶装置包括：背板，含有表面以及在表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面；基准靶材，安装在背板的表面上；和加强靶材，安装在背板的台阶表面上。